Контроль температури у виробництві напівпровідників

Як дочірнє підприємство ASM, голландська компанія Levitech розробляє та виробляє машини для напівпровідникової промисловості. Щоб досягти менших структур та більшої однорідності в напівпровідниках, яких затребував ринок, виробник машин мав впровадити нові методи теплопередачі. Це вимагало швидшої корекції температури та, перш за все, точнішого керування. Тому Levitech шукала альтернативу для керування термічним процесом своєї машини Levitor. З JUMO компанія з Алмере, Нідерланди, знайшла партнера, з яким можна було впровадити це рішення.

Завдання

Реактор для виробництва пластин складається з двох графітових дисків, які нагріваються відповідно до температури процесу. Для досягнення оптимальних результатів ці диски повинні мати певні властивості. Під час процесу пластина підвішується між двома дисками за допомогою газу, не торкаючись їх. Для досягнення необхідної температури 1200 °C використовуються спеціальні нагрівальні елементи Kanthal®.

Метою було впровадження інноваційних методів теплопередачі. Ці методи дозволяють дуже швидко нагрівати та охолоджувати пластину. Рівномірний отвір розміром 0,15 мм з обох боків пластини забезпечує високоефективну теплопровідність. Пластина нагрівається
до температури графітових дисків за лічені секунди. Ці диски контролюються спеціальним контролером нагріву.

Підхід до вирішення

Для керування нагріванням використовується тиристорний регулятор потужності JUMO. JUMO TYA 201 https://kck.ua/catalog/jumo-tya-201-2  контролює необхідний струм і напругу нагрівального елемента Kanthal® у кожній температурній фазі, забезпечуючи таким чином точний температурний профіль процесу. Ця система дозволяє виготовляти пластини при оптимальній та стабільно рівномірній температурі.

Результат проекту

Завдяки особливостям тиристорного регулятора потужності JUMO TYA 201 вдалося задовольнити потребу в точнішому керуванні та швидшій корекції температури. Це тепер дозволяє застосовувати інноваційні методи теплопередачі у виробництві напівпровідників. Таким чином, Levitech задовольняє потреби ринку, одночасно збільшуючи продуктивність.

Офіційний дистриб’ютор JUMO в Україні – КСК-АВТОМАТИЗАЦІЯ

Хочете отримати:

• технічну інформацію по обладнанню JUMO
• актуальну ціну
• терміни постачання

Зв’яжіться з нами прямо зараз!

Тел.: +38 (044) 494-33-55 E-mail: kck@kck.ua Сайт: https://kck.ua